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13889943666激光干涉儀SJ6000可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量......
品牌:中圖
價(jià)格:根據(jù)配置詳細(xì)報(bào)價(jià)
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商品名稱 | 激光干涉儀 |
型號 | SJ6000 |
穩(wěn)頻方式 | 雙頻激光熱穩(wěn)頻 |
穩(wěn)頻精度 | 0.05ppm |
供 應(yīng) 商 | 佛山市精測計(jì)量儀器設(shè)備有限公司 |
激光干涉儀以光波為載體,其光波波長可以直接對米進(jìn)行定義,且可以溯源至國家標(biāo)準(zhǔn),是迄今公認(rèn)的高精度、高靈敏度的測量儀器,在高端制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。
SJ6000激光干涉儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器,其壽命可達(dá)50000小時(shí);采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高速干涉信號采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù),可實(shí)現(xiàn)最高4m/s的測量速度,以及納米級的分辨率;采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動補(bǔ)償;采用高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù),支持中文、英文和俄文語言,友好的人機(jī)界面、向?qū)降牟僮髁鞒?、簡潔化的記錄管理?/span>
激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束(測量光束)則通過分光鏡射入第二個(gè)反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,重新匯聚之后返回激光器,其中會有一個(gè)探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉(見圖)。若光程差沒有變化時(shí),探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。
若光程差有變化時(shí),探測器會在每一次光程變化時(shí),在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號,這些變化會被計(jì)算并用來測量兩個(gè)光程之間的差異變化。
SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心,其光波可直接對米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動補(bǔ)償;干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì),避免干涉鏡受熱影響,保證干涉光路穩(wěn)定可靠。
◆功能廣
● 可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量;
● 可檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;
● 可實(shí)現(xiàn)龍門機(jī)床雙軸同步測量;
● 可實(shí)現(xiàn)對機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn);
● 可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動生成誤差補(bǔ)償表,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù);
● 具有動態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進(jìn)行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等;
● 支持手動或自動進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。
◆軟件強(qiáng)
● 友好的人機(jī)界面;
● 豐富的應(yīng)用功能模塊;
● 向?qū)降牟僮髁鞒?
● 簡潔化的記錄管理;
● 支持中文、英文和俄文界面;
● 支持企業(yè)專屬模板定制。